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超声波流量传感器在半导体清洗设备中的应用

在半导体制造中,液体流量监测的精度和洁净度直接影响晶圆良率与设备稳定性。从湿法清洗到CMP抛光,从化学液输送到超纯水循环,工艺工程师需要对每一路流体的流量实施精确控制。然而,半导体设备广泛使用的PFA、PTFE、PVDF等高纯塑料管路,对流量检测方式提出了特殊约束——任何与流体接触的传感器都可能成为污染源,任何需要切断管路的安装方式都可能引入泄漏风险。在这一背景下,超声波流量传感器凭借非接触测量特性,正在成为半导体设备流量监测的重要技术方案。

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