# MEMS 压力传感器的温度补偿:零点与灵敏度温漂的数字矫正
MEMS 压阻式压力传感器的输出同时受压阻系数、掺杂电阻温度系数以及封装热应力的耦合影响,导致零点漂移(Offset Drift)与灵敏度漂移(Sensitivity Drift)成为限制全温区精度的首要瓶颈。工业级变送器若不对温漂进行补偿,全温区总误差很容易从 25 °C 标定点的 ±0.1 %FS 扩大到 −40 °C ~ 125 °C 范围内的 ±2 %FS 以上。本文从温漂物理来源出发,推导 TCR(电阻温度系数)与 TCS(灵敏度温度系数)的工程表达,比较单点、两点、多点与全温区多项式拟合的补偿精度与成本,并给出数字补偿算法的实现框架。文中以 Bosch BMP390、NXP MPX...