张江实验室报道晶圆级微型化95 GHz带宽O波段慢光硅调制器,突破硅光400Gbps互连带宽与效率瓶颈
本文工作由张江实验室联合中国科学院空天信息创新研究院完成,相关成果发表于2026年7月的《Optica》第13卷第7期。针对硅基马赫-曾德尔调制器(MZM)固有存在的调制效率与工作带宽权衡难题,以及O波段慢光器件难以实现晶圆级量产的工程挑战,研究团队基于300mm硅光子平台40nm工艺节点,设计并制备了基于一维光子晶体(PhC)波导的O波段慢光硅MZM。该器件通过慢光效应增强光与物质相互作用,在仅500μm的调制臂长度下,实现了0.65 V·cm的低半波电压长度积与94.7 GHz的中位电光带宽;在2.7 V峰峰值驱动电压下,可支持300 Gbps/λ的PAM-4传输与400 Gbps/λ的P...